โบรอนไตรคลอไรด์

โบรอนไตรคลอไรด์ (BCl₃, CAS 10294-34-5) เป็นก๊าซไม่มีสีและฉุนที่ทำให้กลายเป็นของเหลวได้ง่าย (bp 12.5 องศา ) มันไฮโดรไลซ์อย่างรุนแรงด้วยความชื้น และต้องได้รับการจัดการภายใต้สภาวะปราศจากน้ำอย่างเคร่งครัด เนื่องจากกรดลิวอิสเข้มข้น จึงเป็นก๊าซชนิดพิเศษที่สำคัญสำหรับกระบวนการเซมิคอนดักเตอร์ ซึ่งรวมถึงการกัดกรดด้วยพลาสมาแบบแห้งและการเติมโบรอน นอกจากนี้ยังทำหน้าที่เป็นสารทำให้บริสุทธิ์สำหรับโลหะผสม Al/Mg/Zn/Cu และเป็นสารตั้งต้นสำหรับโบรอนและ BN ที่มีความบริสุทธิ์สูง มีจำหน่ายในเกรดอุตสาหกรรม (มากกว่าหรือเท่ากับ 99.0%) และเกรดอิเล็กทรอนิกส์สูงถึง 99.9995% จัดอยู่ในประเภทเป็นพิษและมีฤทธิ์กัดกร่อน (UN 1741, ประเภท 2.3+8, PG I); เก็บที่อุณหภูมิต่ำกว่า 10 องศา แยกได้จากน้ำ ด่าง และแอลกอฮอล์