ไตรคลอโรซิเลน

ไตรคลอโรซิเลน (TCS, SiHCl₃, CAS 10025-78-2) เป็นของเหลวไม่มีสีและระเหยได้สูง มีกลิ่นไฮโดรเจนคลอไรด์ฉุนฉุนเฉียว การเดือดที่ 31.8 องศาและทำปฏิกิริยาอย่างรุนแรงกับความชื้น จึงเป็นวัตถุดิบหลักสำหรับกระบวนการของ Siemens ในการผลิตโพลีซิลิคอนที่มีความบริสุทธิ์สูง-สำหรับเซลล์แสงอาทิตย์เซลล์แสงอาทิตย์และเวเฟอร์เซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ TCS ยังใช้กันอย่างแพร่หลายในการเจริญเติบโตของแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนเอปิเทกเซียล การสังเคราะห์ออร์กาโนซิลิคอน (น้ำมันซิลิโคน ยาง เรซิน สารเชื่อมต่อ) การสะสมฟิล์มบางของซิลิคอน CVD และเป็นสารรีดิวซ์แบบเลือกสรรในการสังเคราะห์สารอินทรีย์ มีจำหน่ายในเกรดอุตสาหกรรม (มากกว่าหรือเท่ากับ 99.0%) และเกรดอิเล็กทรอนิกส์ (ความบริสุทธิ์สูงถึง 9N) จัดอยู่ในประเภทที่ทำปฏิกิริยากับน้ำและไวไฟสูง (UN 1295, ประเภท 4.3+2.3, PG I) โดยมีช่วงการระเบิดที่กว้างมากที่ 1.2%–90.5%; ใช้งานภายใต้สภาวะปราศจากน้ำอย่างเคร่งครัดพร้อมการป้องกันไนโตรเจนแห้ง